第(3/3)页 “约的时间是上午十点。” 秘书回答后，张敬业先看了一下手表，然后点头说道： “9点50的时候，你提醒我一下。” 随后，张敬业便翻看起了手中的资料，两年前，他们发明了接触式光刻机后，南洋又有几家公司开始从事这方面的研究。 他们的加入，在加剧竞争的同时，也推动了这个行业的发展。 为了提高生产效率，降低成本，工程师们在原有基础上进行了改进，加了可水平和垂直移动的平台，以及用来测量光掩模和硅片间距与套刻的显微镜，让光刻时两者尽量接近但又不直接接触，这就是渐进式光刻机。 经过改良后的光刻机避免了光刻胶玷污光掩模，但是却带来了新的问题，光具有波粒二象性，由于光的衍射效应，光刻机的精度下降了，光源波长越长，衍射现象也就越严重。除了受限于光的衍射效应，光掩模与光刻胶的距离也决定了光刻的精度，间距越大，硅片上的投影与掩膜上图形的误差也就越大。 而为了进一步改进光刻机，张敬业想到了蔡司公司，他们是光学仪器的行家，也许，他们能够给予一些建议，帮助公司走出眼下的困境。 就这样，翻着手中的资料，时间过的很快，在秘书的提醒下，张敬业到了楼下，这边刚走出电梯，蔡司工程师也到了。 “鄙姓徐，徐会川。” 徐会川自我介绍道，虽然他很年青，但却也是一名非常优秀的光学工程师，这也是公司派他过来的原因。 在简单的寒暄后，他们就一起走进了电梯，一进电梯，张敬业说向对方介绍着他的想法。 “我明白你的意思，就是尽量减弱光的衍射效应，嗯，我差不多明白了，这并不困难。” 作光学工程师的徐会川，人还没出电梯，差不多就明白了对方的想法，也知道如何解决这个问题。 张敬业诧异道： “不困难吗？” “应该很简单，实现它，应该很简单，就是通过光学镜片的组合，在投影过程中减弱光的衍射效应，这并不复杂，我基本上已经有了一个思路……” 走出电梯之后，徐会川就解释起了他的构想，他的构想其实并不复杂，事实上，大多数技术都是如此，在一开始的时候，其技术难度是非常低的，另一个世界甚至直到八零年代，由于光刻机在当时甚至不如照相机复杂，所以，光刻机生产厂商多达数十家，很多光学企业都参与其中，包括日本的尼康，尼康的初代光刻机在八零年推出时，出现了许多问题，但在多家企业的共同努力下攻克了技术问题，使得尼康在八二年能够向美国卖出高性能的光刻机，其稳定性和自动化程度甚至比GCA更加优异。到了八零年代末期，尼康和佳能便已经占据了70%的市场份额，而那会的ASML才于荷兰埃因霍温飞利浦办公室附近的漏雨厂棚里创立不久。 无论如何，很多技术一开始的时候，门槛是非常低的。 就像现在，仅仅只是三个多月之后，在徐会川和永宁蔡司多名工程师的共同努力下，他们为光刻机配置上了配套的光学镜头，研制成功了世界上第一台遮蔽式光刻机！ 光，就这样，再一次悄无声息的得到了进一步的应用，光会把人类带到什么样的世界……无人知晓！